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Centrotherm RTP 150
1646
北京市
2026/1/4 13:14:25
產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
Centrotherm 快速熱工藝設(shè)備-RTP 150
德國Centrotherm公司是國際主流的半導體設(shè)備供應商，尤其在高溫設(shè)備領(lǐng)域。Centrotherm RTP 150是一款高性能快速熱工藝設(shè)備，主要用于滿足研發(fā)和小規(guī)模量產(chǎn)所需的多種工藝要求。
RTP 150型快速熱反應設(shè)備，采用緊湊型的真空腔室設(shè)計滿足多種工藝需要，是一款可用于生產(chǎn)和研發(fā)用的單晶圓工藝設(shè)備。
RTP 150型設(shè)備包括一個帶集成壓力學習控制壓力范圍在1mbar至50mbar的真空腔室。采用燈管加熱系統(tǒng)提供了可調(diào)節(jié)的加熱均勻性控制，采用了CENTROTHERM公司技術(shù)的溫度控制系統(tǒng)。
RTP系統(tǒng)可用于6寸晶圓和5寸石墨基板的加熱。可在15分鐘內(nèi)更換基板的尺寸和類型。
設(shè)備用于高性能、小占地面積、低成本高工藝靈活性的工藝場合。
設(shè)備特點：
壓力可控的真空或大氣環(huán)境下工作
高靈活性：最大6寸硅片或其他材料
溫度范圍：20℃~1150℃
*加熱的工藝溫度可達 750℃
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您訪問的Centrotherm 快速熱工藝設(shè)備-RTP 150產(chǎn)品信息，由北京亞科晨旭科技有限公司自行發(fā)布提供，產(chǎn)品價格為面議，如您想了解更多關(guān)于Centrotherm 快速熱工藝設(shè)備-RTP 150型號、參數(shù)、用途等信息，歡迎咨詢。
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