透射電鏡力電原位系統是一種集成力學加載、電學測試與透射電鏡高分辨成像的原位表征設備,核心是在透射電鏡樣品桿中加裝掃描探針、力傳感器和電學測試單元,可同步獲取材料原子尺度微觀結構與力電性能數據,廣泛應用于納米材料、新能源材料等領域的微觀構效關系研究。
透射電鏡力電原位系統主要由以下幾部分構成:
原位力-電樣品桿:作為核心部件,樣品桿內置MEMS芯片,實現力、電復合多場自動控制及反饋測量。其設計需滿足透射電鏡的腔體空間限制,同時確保機械穩定性高、電磁屏蔽性能良好,以避免對成像光路形成干擾。
MEMS力學加電芯片:采用微機電系統(MEMS)技術加工,實現電場和力學加載的獨立控制。芯片設計需兼顧高精度力學加載與電學信號傳輸。
力學-溫度控制系統:支持高溫條件下的動態力學性能測試,滿足極*工況下的原位表征需求。
電學控制器:集成電流電壓測試單元,支持自動電流-電壓(I-V)測量、電流-時間(I-t)測量,并具備數據自動保存功能。電壓輸出范圍涵蓋普通模式±10V與高壓模式±150V,以適應不同實驗需求。
納米探針操縱系統:通過壓電陶瓷驅動實現探針的高精度操縱,確保探針移動平穩,實現高分辨原位觀察實驗。
附件包與針尖制備系統:提供實驗所需的輔助工具與針尖制備設備,確保實驗流程的完整性與便捷性。
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